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技術文章
CKD的工藝氣體減壓閥擁有專業密封性能、滯后性和重復性。
產品特點
⊙使用示例
⊙高耐腐蝕?高品質材料
⊙優化設計
⊙高密封性
⊙高微小流量控制性
⊙減少遲滯
⊙豐富的產品陣容
蝕刻、成膜裝置中工藝氣體的高精度控制
◆壓力控制·減壓
◆壓力穩定化
● 采用高耐腐蝕材料 ● 實施電解研磨、超精密加工、超精密清洗
.
02 優化設計
●盡量減少滑動部
● 膜片結構的優化
● 優化材質，實現平穩動作
03 高密封性
有助于工藝穩定化。
● 閥座部的優化設計和超精密加工
● 最大限度抑制閥閉動作時的2次側泄漏（流出）
04 高微小流量控制性
實現穩定且平穩的動作
● 閥座部形狀的優化設計
● 微小流量下也可穩定控制
05 減少遲滯
安全滿足目標壓力。
● 采用高品質材料
● 超精密加工
06 豐富的產品陣容
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